六氟化硫氣體的化學式是SF6，純凈六氟化硫氣體是一種無色、五毒、不燃的穩定氣體，微溶于水，被廣泛用于高壓電氣設備的絕緣介質或者是超高壓絕緣介質材料使用，例如：常見的六氟化硫真空開關中滅弧裝置，GIS電氣組合裝置等，它們的絕緣介質就是SF6氣體，六氟化硫的優勢明顯是電力設備絕緣發展的一個方向。

六氟化硫裝置中水分含量要定期測量，要完全清除高純六氟化硫斷路器內SF6氣體的水分是不可能的，掌握SF6氣體微水超標的原因，采取相應的預防控制措施，減少SF6氣體中的水分，是提高斷路器的安全運行可靠性的重要方法。

六氟化硫中存在水分的危害

SF6氣體中混雜的水分通常以水蒸汽形式存在，在較低溫度下，水蒸汽可能凝結成露附著在零件表面，如附著在絕緣件表面就有可能產生沿面放電，實際上SF6開關設備的內絕緣事故主要是由SF6氣體中水分凝露造成的。

水分的危害更主要的是在電弧作用下SF6氣體分解過程中產生反應，在電弧或電暈高溫作用下，SF6將被分解為SF4，SO2F2(氟化硫酰)，SOF2(氟化亞硫酰)，HF和SO2等有毒物質。

生成物HF(氫氟酸)是所有酸中腐蝕性最強的，SO2遇水會生成亞硫酸H2SO3，這也是有腐蝕性的物質。

由此看來，如SF6氣體中含有水分，不僅降低設備的絕緣強度，而且危害人體健康，因而控制SF6氣體中水分含量是十分必要的。

減少含水量的推薦措施

（1）減少SF6開關設備制造期水分的殘留量。

（2）設備在自然環境下安裝時間，最好安排在高溫季節，以便多抽出一些設備中放出的水分。

（3）從防止水分侵入角度出發，增強密封結構的嚴密性。

（4）GIS內每個氣隔單元都應安放吸附劑，吸附劑不僅能消除水分，還能有效地消除電弧分解物，減少了電弧分解物對人體和電器設備的危害。

六氟化硫氣體防護措施

（1）工作現場應強力通風，檢修人員應在上風位置；

（2）配戴好防毒面具和防護手套；

（3）將排出的氣體進行回收、或用導管將氣體排入下水溝內，不宜直接向大氣排放；

（4）工間休息前或工作結束后，臉、頸、臂和手要用肥皂和大量的水徹底洗凈；

（5）如不慎接觸到劑量較大的氣體時，應立即洗凈，更換衣服，及時去醫院觀察治療。